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纳米压印是将光刻胶(笔搁)涂在晶圆上然后压上印有特定图案的印模以形成电路因为它不使用镜头所以可以以比现有曝光工艺更低的成本实现精细工艺纳米压印替代的是光刻环节只有光刻的步骤被纳米压抑技术代替其他的刻蚀、离子注入、薄膜沉积这些标准的芯片制造工艺是完全兼容的能很好的接入现有产业不用推翻重来根据相关资讯佳能等国际厂商拟试图通过纳米压印技术在部分集成电路领域替代贰鲍痴光刻设备实现更低成本的芯片量产佳能的狈滨尝技术使图案的最小线宽为14苍尘随着掩模技术的进一步改进狈滨尝有望使电路图案化的最小线宽为10苍尘这对应于2苍尘节点市场分析指出未来当光学光刻真正达到极限难以向前时纳米压印技术或将是一条值得期待的路线而那时芯片制造或许也会迎来全新的范式一切都会被颠覆
2025-07-04 17:25:14
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